集成电路硅片生产以直拉法为主。将多晶硅拉制成单晶硅包括两种工艺,分别为区熔法与直拉法,其中,集成电路领域硅片主要采用直拉法制成。拉晶环节工序主要为将纯净硅加热成熔融状态→籽晶伸入装有熔融硅的旋转坩埚中→新晶体在初期籽晶上均匀延伸生长→生产单晶硅锭。晶圆制造设备占设备投资总额约3%~5%。正如本文,2018年全球集成电路设备价值构成中,晶圆加工设备、晶圆制造设备占比分别为81%、4%。具体来看,晶圆制造设备包括单晶炉、切割机、滚圆机、截断机、研磨系统、倒角机、刻蚀机、抛光机、清洗设备、检测设备等。其中,单晶炉、CMP抛光机分别占晶圆制造设备额约25%、25%。单晶炉由炉体、热场、磁场、控制装置等部件构成,其中,控制炉内温度的热场与控制晶体生长形状的磁场为决定单晶炉性能的关键指标之一。竞争格局:内资供应商在太阳能单晶炉领域已具备完全竞争力,其中,综合实力居前企业包括晶盛机电、南京晶能等。另一方面,国内集成电路领域能够供应12英寸单晶炉的供应商目前数量尚小。半导体集成封装机电设备进口报关运输服务。青岛专业半导体设备进口报关咨询报价
细分环节设备均被海外公司寡头垄断1)光刻机市场规模约160亿美元,3大拥有95%市场。国外EUV光刻机为ASML、尼康、佳能等,ASML为已能够实现前道5nm光刻。上海微电子是国内前列的光刻机制造商,公司封装光刻机国内市占率80%,全球40%,光刻机实现90nm制程,并有望延伸至65nm和45nm,公司承担多个国家重大科技专项及02专项任务。2)刻蚀设备市场规模约115亿美金,海外大供应商拥有94%市场份额。在半导体制造中有两种基本的刻蚀工艺:湿法腐蚀和干法刻蚀,目前全球主流刻蚀工艺为干法刻蚀。在湿法刻蚀中,液体化学试剂以化学方式去除硅片表面的材料。湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下(大于3微米)。干法刻蚀是把硅片表面曝露于气态中产生的等离子体,等离子体通过光刻胶中开出的窗口,与硅片发生物理或化学反应,从而去掉曝露的表面材料。刻蚀也可以根据被刻蚀的材料类型来分类,主要分成三种:金属刻蚀、介质刻蚀、和硅刻蚀,其中介质刻蚀和硅刻蚀为主流。目前全球硅基刻蚀主要厂商为Lam(泛林集团)和AMAT(应用材料),两者拥有97%的市场份额,介质刻蚀主要厂商为TEL(东京电子)和Lam(泛林集团),拥有97%的市场份额。中微半导体是打入台积电7nm制程的中国设备商。 深圳靠谱的半导体设备进口报关服务半导体生产线设备进口清关物流公司,半导体进口清关物流公司。
硅料生产设备:行业已实现高度国产化太阳能电池包括结晶硅太阳能电池与薄膜太阳能电池两种类别,其中,结晶硅太阳能电池为市场主流。以结晶硅为主导,太阳能光伏硅片制造设备主要包括多晶铸锭炉、单晶炉、切断机、切方机、多线切割机、硅片检测分选设备等。光伏领域硅料加工设备已基本实现国产化。不同于集成电路领域,光伏行业硅料加工设备国产化程度已经非常高,国内多家企业具备全球竞争力。单晶硅生长炉:全球供应商包括美国Kayex公司、日本Ferrotec公司、德国CGS公司等。海外供应商单晶炉产品在自动化、经济性、可靠性等方面具备一定优势,但国内厂家与之的差距正大幅减小。国内供应商排名靠前的企业主要包括晶盛机电、南京晶能、北方华创、上海汉虹、京运通等,性价比方面优势明显。以晶盛机电为例,其2018年晶体生长设备实现销量1,344台,同比增长,全自动单晶硅生长炉销量为1,046台,同比增长。多晶硅铸锭炉:多晶硅铸锭炉市场设备供应商包括美国GTSolar公司、德国ALD公司等,行业集中度较高。3、电池片生产设备:高效电池片技术革新加快设备迭代更新1)BSF:2018年占比约60%常规铝背场电池片(BSF)为现阶段占比比较大的电池技术类型,2018年占比约60%。
ALD:海外供应商包括韩国NCD、荷兰SolayTec、荷兰Levitech等;国内主要为理想能源、无锡微导、无锡松煜等。PERC电池技术在BSF基础上增加了背面钝化与激光开槽两道工序,相应增加了背钝化沉积设备与激光划线设备的使用。主流的PERC钝化工艺方案包括:板式PECVD方案:背面:采用板式二合一PECVD(氧化铝+氮化硅)一次性完成沉积;正面:采用管式/板式PECVD(氮化硅)完成沉积。?管式PECVD方案:背面:采用管式二合一PECVD(氧化铝+氮化硅)一次性完成沉积;?正面:采用管式/板式PECVD(氮化硅)完成沉积。ALD方案:背面:采用ALD(氧化铝)+PECVD(氮化硅)完成沉积;正面:采用PECVD(氮化硅)完成沉积。价值构成:PERC技术需在现有BSF基础上做部分设备的采购即可实现产线升级,其与现有设备的良好兼容性也是使其在众多技术中脱颖而出的原因之一。以采购国产设备为前提假设,PERC电池技术单位(1GW)设备投资规模约2亿元~3亿元,其中,薄膜沉积设备占比约30%~35%,印刷烧结设备占比约20%。 关设备种类:仪器、机床模具设备、试验设备、工程/农机设备、半导体设备、流水线设备。
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